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有谁碰到过这个工况???

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发表于 2012-7-4 16:50:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位高手:

  有没有哪位碰到过以下几个工况:

1,SiH4+H2   5MPa
2,   SiF4        5MPa
3,  H2SO4     10MPa

以上均为常温,压力不大,要求选用O型圈。

就是不知道改用什么材料好,哪位给予指教,先谢了!
发表于 2012-7-4 18:47:39 | 显示全部楼层
看不懂,后面标的压力这么高,怎么还是常压
发表于 2012-7-4 20:44:54 | 显示全部楼层
版主  楼主说的是常温   不是常压  可能是他后面跟的一句  “压力不大 ” 迷惑了你
发表于 2012-7-4 22:42:09 | 显示全部楼层
第一种气体是  硅烷
第二种气体是  氟硅烷
应用于单晶硅的生产,第一种气体易燃易爆,第二种有高腐蚀性。
温度是常温!!
发表于 2012-7-5 00:39:24 | 显示全部楼层
有哪位接触特殊气体的帮个忙!
 楼主| 发表于 2012-7-5 02:36:39 | 显示全部楼层
看看容器法兰垫片用的是什莫材质,根据他来确定O型圈
发表于 2012-7-5 04:33:54 | 显示全部楼层
初步认为PTFE是最适合的,全氟橡胶貌似也可以,不知道有没有更好的选择?
发表于 2012-7-5 06:31:09 | 显示全部楼层
这压力挺高的,没碰到过
发表于 2012-7-5 08:28:24 | 显示全部楼层
主要是材料的选择……
发表于 2012-7-5 10:25:39 | 显示全部楼层
好像以前用过!
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